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洁净室无尘室空气洁净度测试方法及注意事项

分类:
行业规范
作者:
苏信
发布时间:
2018/09/11 08:48
  无尘洁净室(Clean Room),又为无尘室,洁净室或无尘车间。是指具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。那对于洁净室无尘室的室内洁净度如何衡量以及检测的方式有哪些?
 
  一、洁净室无尘室环境洁净度,应进行下列测试
 
  (一)空态、静态测试
 
  空态测试:洁净室已竣工,净化空气调节系统已处于正常运行状态,室内没有工艺设备和生产人员的情况下边行测试。
 
  静态测试:洁净室净化空气调节系统已处于正常运行状态,工艺设备已安装,室内没有生产人员的情况下进行测试。
 
  (二)动态测试洁净室已处于正常生产状态下进行测试。
 
  洁净室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测,可按一般通用、空气调节的有关规定执行。
 
  总结:在洁净工作区操作位置选择有代表性测点的气流上风向进行,测试方法同空态、静态测试。
 
  二、空态、静态测试的方法
 
  (一)测试前的准备
 
  1、应对洁净室及其净化空气调节系统进行彻底清洁。
 
  2、采用光散射粒子计数器对高效空气过滤器进行检漏测试。首先测定高效空气过滤器的上风侧静压箱内(或风管内)粒径大于或等于0.5微米的尘粒数应为大于或等于30,000粒/升。
 
  如若不够,可引入烟雾,然后开始检漏。将粒子计数器(或检漏装置)的采样口距离高效空气过滤器2--3厘米处,可以2~4厘米/秒的速度移动,对高效空气过滤器整个断面封头胶处和安装框架处进行扫描。
 
  当粒子计数器读数为空气口大于或等于0.5微米的尘粒超过3粒/分·升(或其穿透率大于0.01‰)即认为该处有明显渗漏,必须进行堵漏。而苏信品牌产品激光尘埃粒子计数器可以完全避免这种情况的出现,可以有效保证洁净室内空气粒子数量的真实数量。
 
  (二)测试内容
 
  1、总送风量、总回风量、新鲜空气量、排风量等;
 
  2、洁净室压力值;
 
  3、层流洁净室断面风速和气流流向;
 
  4、洁净工作区的洁净度;
 
  5、室内温度、湿度及其控制能力的调整测试;
 
  6、洁净室内噪声。
 
  (三)采样注意事项:
 
  (1)采样管必须干净,连接处严禁渗漏。
 
  (2)采样管的长度,应根据仪器的允许长度。当无规定时,不宜大于1.5米。
 
  (3)采样管口的流速,宜与洁净室断面平均风速相接近。测试人员应在采样口的下风侧。
 
  (4)采样顺序应按含尘浓度从低到高进行。
 
  3、洁净室检测测点布置
 
  (l)检测在洁净工作区内进行。当生产工艺无特殊要求时,取样高度宜为离地面1米
 
  (2)层流洁净室测点总数不小于20点,测点间距为0.5~2.0米,粒径大于或等于0.5微米的尘粒数允许有一个点超过。水平层流洁净室测点仅布置在第一洁净工作区内。
 
  (3)乱流洁净室可按洁净面积小于或等于50平方米布置5个测点(附图2)。每增加20-50平方米,增加3--5个测点。
 
  4、洁净度测试数据整理
 
  (1)每个测点的数据整理应在测试仪器稳定运行的条件下连续三次采样,取其平均值,即为该点的实测数值。
 
  (2)对于大于或等于0.5微米的尘粒数确定:层流洁净室取各测定点最大值,乱流洁净室取各测点的平均值。
 

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